将工件浸入水槽,测是否有连续气泡逸出,通过超声波进行精确捕捉泄漏点产生的气泡锁定漏点,广泛用于塑料,耐腐蚀的金属带腔体的密封部件等,检测精度可达1.0*10⁻⁵mbar*l/s。
抽真空时间较传统设备缩短 40%,测试漏率精准达 1.0×10⁻⁸ mbar・L/s;98% 氦气回收率大幅降低耗材成本,10%-99% 检测浓度可调,适配多场景批量检测。
向被测工件充入洁净空气,通过高精度传感器测量内部压力衰减来判断泄漏。支持 0.01~0.1 SCCM 漏率范围,成本较低、效率高、易于自动化。





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