真空腔尺寸可以按照需求定制
机器检测周期实测65S
测试漏率 2.17*10-5mbar*l/s
充氦气压力 10Kpa
带氦气回收回收率95%
氦气浓度10%-99.99%
切割精度(mm)
切割速度(mm/s)
单件耗时(s)
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