CN
等离子清洗机
应用于半导体与集成电路制造中的晶原清洗，新能源行业中的锂电池制造和光伏领域，医疗器械，航空航天和光学等
真空系统
5流道腔室同时处理
伺服自动进料系统
自动上片系统
离子表面处理系统
切换时间快，CT缩短，UPH提升
可同时兼容多款产品，无需调整轨道
使用低能耗高性能的电气原件来降低能耗成本
工艺特点
薄至0.1mm
产品厚度
±0.02mm
重复定位精度（mm）
<15S
CT时间（S）
真空系统
5流道腔室同时处理
5流道腔室同时处理
伺服自动进料系统
自动上片系统
自动上片系统
离子表面处理系统；切换时间快，CT缩短，UPH提升
可同时兼容多款产品，无需调整轨道
使用低能耗高性能的电气原件来降低能耗成本
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