真空腔尺寸可以按照需求定制
可多腔体多工位
机器检测周期40秒以内
测试漏率 3.0*10-5mbar*l/s
充氦气压力 10Kpa.
带氦气回收回收率≥98%
氦气浓度10%-99.99%
可自动化,机器人、倍速链方式
充氦气压力
带氦气回收回收率
氦气浓度
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